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氟化密封圈

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全氟化(FFKM)

适合应用在蚀刻 (Etch)和薄膜(Thin Film)以及扩散(Diffusion) 等对洁净度与高温有高标要求的制程环境

氟化(FKM) 、硅橡胶(VMQFVMQ)

此系列的产品可以广泛应用在在各种制程,其独特性质有时是连FFKM都无法取代的

高分子氟化(HFKM)

系列为含FKM中氟量更高的氟橡胶产品,表现介于FFKM FKM之中,适合在经济考虑的范围内,来替换FFKM以降低成本

 

三种系列产品均在亚太地区各指标客户,获得奈米次世代先进制程指定使用,而其高效能与价格竞争力均获得客户一致肯定

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